光学测试技术 | Wafer DOE检测机

Wafer DOE检测机威斯尼斯人wns579的Wafer DOE检测机主要用于检测wafer芯片的衍射性能参数。该设备的原理是激光经过芯片衍射之后规律的衍射图像，通过该衍射图像，可以计算得到包括视场角大小、能量效率等一系列反映衍射特性的参数，从而判定芯片是否为良品。此设备的软件集成运动控制模块和软件算法模块与一体，可以通过设置不同的参数可达到兼容DOE(点阵类产品)以及光场类产品两种不同类型芯片的检测。