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方案概述

光学检测技术 | 芯片缺陷检测机

芯片缺陷检测机威斯尼斯人wns579的芯片缺陷检测机用于半导体芯片的外观缺陷检测。设备通过不同类型光源以及可调节角度、高度的高精度打光系统,达到芯片不同高度层面缺陷清晰成像的目的,配合自研的算法,实现对芯片的全自动、全方位的外观检测功能。

方案特点

光学检测技术 | 芯片缺陷检测机

检测项目

 检测区域:IC外边缘胶路,IC边缘,PAD区、电极区、光敏区等外观及功能区域

 检测项目:IC外观缺陷、IC位置度、IC尺寸及间距测量

主要特点

 重复定位精度:3μm

 UPH2000

 兼容24种不同类型的IC检测

高精度视觉定位系统,保证芯片检测位置的精度

应用领域

 消费3C、光通讯、半导体封测